Mikrofertigung und Mikromontage zur Herstellung eines individuellen piezoelektrisch betriebenen Mikrotropfenerzeugers

Produktbeschreibung

ln vorliegender Arbeit werden Methoden für die kostengünstige und schnelle Herstellung von Funktionsmodellen für die Mikrosystemtechnik entwickelt. Für die Mikrostrukturierung von Substraten werden sowohl für die Laserbearbeitung als auch für das Trennschleifen die notwendigen Fertigungsparameter abgeleitet. Die Montage von Funktionskomponenten wird über einen neu entwickelten Mikromontageplatz mit Klebstoffauftragswerkzeug realisiert. ln weniger als 10 Stunden können mit den vorgestellten Verfahren fünf Funktionsmodelle eines Mikrotropfen­erzeugers hergestellt werden.

Keywords: Drop-on-Demand, Druckkopf, Funktionsmodell, Lasermikrobearbeitung, Mikrofertigung, Mikrofluidik, Mikromontage, Mikrosystemtechnik, Rapid Manu­facturing, Rapid Prototyping, Drop-on-Demand, Druckkopf, Funktionsmodell, Lasermikrobearbeitung, Mikrofertigung, Mikrofluidik, Mikromontage, Mikrosystemtechnik, Rapid Manu­facturing, Rapid Prototyping