Neuartige nanostrukturierte Diamantschichten mit optimierten mechanischen, elektrischen und thermischen Eigenschaften

Typ: Fortschritt-Berichte VDI
Erscheinungsdatum: 17.10.2017
Reihe: 5
Band Nummer: 761
Autor: Dipl.-Ing. Markus Mohr
Ort: Ulm
ISBN: 978-3-18-376105-0
ISSN: 0178-952X
Erscheinungsjahr: 2017
Anzahl Seiten: 244
Anzahl Abbildungen: 152
Anzahl Tabellen: 30
Produktart: Buch (paperback, DINA5)

Produktbeschreibung

Die vorliegende Arbeit richtet sich an Ingenieure und Wissenschaftler, die sich für Herstellung, Eigenschaften und Anwendungspotentiale von nanokristallinen Diamantschichten interessieren. Im Fokus dieser Arbeit stehen die mechanischen, elektrischen und thermischen Eigenschaften von nanokristallinen Diamantschichten. Diese hängen von der Korngröße und der Struktur der Korngrenzen der Diamantschichten ab. Es wird auf einige Synthese-Parameter der verwendeten chemischen Gasphasenabscheidung eingegangen, mit Hilfe derer die Eigenschaften der synthetisierten Diamantschichten optimiert werden können. Unterschiedliche Verfahren werden genutzt um mechanische, elektrische und thermische Eigenschaften der Schichten zu charakterisieren. Mikromechanische Modelle werden verwendet um aus den ermittelten Materialkennwerten der Diamantschichten auf die Einflüsse der Korngrenzen zu schließen.

Keywords: Chemische Gasphasenabscheidung, Nanokristalliner Diamant, Bruchspannung, Poissonzahl, Plastische Verformung, Wärmeleitfähigkeit, elektrische Leitfähigkeit, Chemische Gasphasenabscheidung, Nanokristalliner Diamant, Bruchspannung, Poissonzahl, Plastische Verformung, Wärmeleitfähigkeit, elektrische Leitfähigkeit

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